隨著人工合成化合物越來越復雜，高濃度難降解有機廢物對人類環(huán)境的危害越來越大，光氧催化廢氣處理裝置采用紫外線光源對廢氣分子鏈進行凈化的專業(yè)技術(shù)。
第一重處理：運用253.7納米波段光切割、斷鏈、燃燒、裂解廢氣分子鏈，改變分子結(jié)構(gòu)。
第二重處理：取185納米波段光對廢氣分子進行催化氧化，使破壞后的分子或原子與O3進行結(jié)合，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在催化氧化過程中，轉(zhuǎn)變成低分子化合物CO2、H2O等。
第三重處理：根據(jù)不同的廢氣成分配置7種以上相對應的惰性催化劑，催化劑采用蜂窩狀金屬網(wǎng)孔作為載體，全方位與光源接觸，惰性催化劑在338納米光源以下發(fā)生催化反應，放大10-30倍光源效果，使其與廢氣進行充分反應，縮短廢氣與光源接觸時間，從而提高廢氣凈化效率，催化劑還具有類似于植物光合作用，對廢氣進行凈化效果。
通過三重處理后的廢氣可達99%以上，凈化、脫臭效果大大低于國家2008年頒布的惡臭污染物排放標準（GB6514-2008）

其中一些化學行業(yè)石化、有機合成反應設備排氣，印刷行業(yè)印墨中有機溶劑，機械行業(yè)機械噴漆，金屬制品產(chǎn)生的氣味，汽車行業(yè)汽車的噴漆、干燥爐鑄件生產(chǎn)設備排氣，五金、家私廠噴涂設備排氣等。第二、有機廢氣的危害：在生產(chǎn)中,有機廢氣的排放一直是一個很突出的問題。

絕大多數(shù)有機廢氣對人體的健康都有害。如有機廢氣通過呼吸道和皮膚進入人體后,能給人的呼吸、血液、肝臟等系統(tǒng)和器官造成暫時性的變化,尤其是苯并芘類多環(huán)芳烴能使人體直接致癌,危害人體健康。有機廢氣還會造成嚴重的大氣污染。一些有機物進入大氣后，在一定條件下形成光化學煙霧。二惡英等難以處理的物質(zhì)，瞬間完全分解，實現(xiàn)達標排放。(是垃圾焚燒尾氣排放二惡英問題的理想解決方案)1、無臭氧排放問題(低溫等離子設備存在臭氧排放問題)。2、經(jīng)濟適用：同樣規(guī)格的高溫等離子焚燒設備，價格不到燃氣焚燒RTO的二分之一，運營成本低于二分之一。